无篮式湿法设备

  技术特点 Features  

· PR stripper，，，Nit Stripper,，
，，，Pre-Clean，，，，B-Clean，，Metal etching，，，Recycle
，，，Post CMP clean, EKC stripper，，，Post Ash Polymer Removal .

· PA adder, 0.16um <10ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.