无篮式湿法设备

  技术特点 Features  

· PR stripper
，，Nit Stripper,，，，，Pre-Clean，，，，B-Clean，，，，Metal etching，，，，Recycle，，
，Post CMP clean, EKC stripper，，Post Ash Polymer Removal .

· PA adder, 0.16um <10ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.