管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、
、、、i-poly、
、D-poly 三合一同管完成，，
，，减少工艺环节
，，，，有效提升良率、、、、降低碎片率。。

· 无热壁特性，，石英管使用寿命长。。。

· 绕镀轻微，，，，易去除。
。。。

· 精准掺杂、、、、可引入其它提效掺杂元素，
，工艺拓展、、、、提效空间大
。。

· 防导通专利技术。。。。