光罩清洗设备

  技术特点 Features  

· 正面Force down Brush、、
、
、rinse，，
，，背面pellical氮气保护。
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· PA adder, 0.3µm ≤10ea，，，适用天车料盒、、运输料盒
。。。
。

· 100%部件本土化，，
，本地软件团队，，，有独立的设计和专利。。。