单面卷绕蒸发溅射一体机

  技术特点 Features  

· 蒸发腔、
、、溅射腔共存
；

· 蒸发腔：单面蒸发
，，可镀铝、、、锂等低温蒸发材料
；

· 溅射腔：6对旋转靶，，可替换平面靶
；

· 后腔：可进行加热
、、、冷却、、气体处理、、、
、plasma处理等。。。。