晶圆擦洗设备（刷片机）
晶圆擦洗设备（刷片机）
技术特点 Features
· Top/Back side clean，，，Force down Brush, Bevel brush, Megasonic clean，，HPC clean, Nano clean，，，，SC1-Nano clean.
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16腔单晶圆水平电镀量产设备
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金属剥离机
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